Quando o comprimento em uma direção é menor que o comprimento nas outras duas direções, essa estrutura é chamada de filme fino. Hoje em dia, a aplicação contínua de filmes microeletrônicos, filmes ópticos, filmes antioxidantes, filmes magnetorresistivos gigantes, filmes supercondutores de alta-temperatura, etc. na produção industrial e na vida humana, a espessura dos filmes produzidos na indústria é um parâmetro muito importante, diretamente relacionado ao fato de o material do filme poder funcionar normalmente.
Normalmente, a espessura do filme refere-se à distância entre a superfície do substrato e a superfície do filme. Na verdade, a superfície do filme é irregular e descontínua, e há furos, microfissuras, filamentos de fibra, impurezas, defeitos de rede e moléculas adsorvidas na superfície. Por exemplo, vários filmes finos no processo de produção de circuitos integrados de grande-escala terão um impacto direto no desempenho dos circuitos integrados devido à melhoria contínua do grau de integração do circuito e a quaisquer pequenas alterações na espessura do filme fino. Além disso, as propriedades mecânicas, propriedades de transmissão de luz, propriedades magnéticas, condutividade térmica, estrutura superficial, etc. dos materiais de película fina estão intimamente relacionadas com a espessura. Portanto, a medição on-line precisa da espessura do filme no processo de produção é um meio importante para garantir a qualidade do produto e melhorar a eficiência da produção.
Para a medição precisa da espessura do filme, depende do tipo de sensor de espessura usado. Atualmente, existem principalmente vários métodos para tecnologia de detecção online de espessura de filme:
1. A sonda beta é o primeiro sensor usado para detecção de filme fino. Ele usa fonte de radiação beta como fonte de sinal e a tecnologia está madura. Contudo, é necessária uma licença para a utilização de fontes radioactivas e os procedimentos de importação e exportação são relativamente complicados. Há um limite de meia-vida útil e a precisão da detecção diminuirá com a atenuação da fonte radioativa.
2. As sondas infravermelhas usam o princípio de que bandas infravermelhas específicas são fortemente absorvidas em filmes plásticos específicos para medir a espessura do filme. O sensor é estável na detecção e não é afetado por mudanças ambientais, mas é sensível a mudanças em aditivos e cores e não é adequado para produzir vários produtos na mesma linha de produção.
3. A sonda de raios X-usa o tubo de-raios X para gerar raios-X como fonte de sinal para detectar a espessura do filme plástico. As vantagens são muitas: voar materiais radioativos; baixo consumo de energia não requer licença; uma ampla faixa de medição; alta precisão de medição; todos os tipos de plásticos podem ser medidos sem serem afetados por aditivos e masterbatch de cores.
Atualmente, o instrumento de medição de espessura de filme desenvolveu-se com alta precisão e automação e atingiu um nível muito alto. Sua precisão de medição é de ± 2% a ± 5% da espessura medida do filme para a camada de filme geral e ± 2 nm para o filme fino, e possui função de medição de microárea, velocidade de medição rápida e alto grau de automação. Principalmente com o avanço da tecnologia e a aplicação de instrumentos de precisão, além dos métodos tecnológicos de detecção acima, a espessura do filme também pode ser medida por um sensor ultrassônico. O sensor ultrassônico MaxBotix recomendado por Gongcai-MB7480 é um medidor de distância de precisão ultrassônica de alto desempenho que pode fornecer medição de distância ultrassônica de alta precisão e alta resolução no ar.
